栎智科技

电子级气体化学品输送系统

栎智科技在半导体产业的刻蚀、扩散、离子注入、薄膜沉积和黄光工艺等关键制程
为客户提供完整的气体供应设备设计与制造的解决方案。

栎智科技电子级化学品输送系统的主要功能是将客户所需的高纯气体、化学品输送至客户的工艺机台，其核心产品即为供应过程中实现“输送分配、蒸发冷凝、混配稀释”等基本功能的独立设备/单元；从独立的设备/单元再到完整的工艺介质供应系统，公司将上述具体产品进行有机连接并发挥整体功能。具体而言，将上述设备/单元与其他材料部件进行连接，例如通过阀门、管道管件等原材料在上述产品与产品、产品与工艺机台之间进行连接与疏通，实现气体、化学品从源头到工艺机台的传递；借助传感器、侦测器等仪器仪表和电气控制材料的应用并结合自动化控制程序，构建气体、化学品软硬件监控平台，对气体、化学品的运行状态和环境变化进行感知、采集和处理，实现关键工艺信息在人机之间的传递。
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