栎智科技

关键工艺定制化气控设备（GasBox）

栎智科技为客户提供工艺设备或子系统GasBox的委托加工（OEM)或委托设计加工(ODM)服务。

栎智科技的Gas Box可基于VCR通用型、IGS集成型等多型式的标准化设计、制造与测试，可依据客户工艺要求完全定制化、模组化气体传输控制系统，支持机械、机电一体化等多种定制模式，可以满足泛半导体工艺设备高纯度、高精度、小型化、集成化的要求，实现工艺安全和洁净的要求，还可以自主选择特殊防爆标准。
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