系统集成 SYSTEM INTEGRATION

超高纯系统解决方案供应商

UHP Solution Provider

化学品输送系统

CHEMICAL DELIVERY SYSTEM

半导体行业在蓬勃发展的同时，其制程工艺也不断快速提升。然而，无论工艺如何改进，都离不开盐酸、氢氧化钠、过氧化氢溶液，以及乙醇、丙酮等各类高纯化学品的使用。

栎智科技为客户提供安全可靠的化学品输送系统，自动化程度高。当工艺设备需要供液时给出需求信号，自动供液系统接收到需液信号控制程序自动打开泵电磁阀、气动阀电磁阀，化学品通过泵输送出去，经过过滤装置，将化学品供应到VMB分支阀箱，再到工艺设备。当工艺设备达到FULL状态需液信息关闭，供液系统停止供应。