系统集成 SYSTEM INTEGRATION
超高纯系统解决方案供应商
UHP Solution Provider
工艺制程中会使用到高纯气体(大宗气体和特种气体)，气体输送系统是把以上各种气体安全、稳定的，以满足工艺制程要求的压力和流量等供应至工艺设备，并且气体系统本身在供应输送过程中不会对特种气体产生二次污染。
栎智科技关注从气源端至终端使用点，再到尾气处理的每一个环节，设计、制造、现场安装调试到运行管理和维护保养等。解决方案实现安全稳定、无污染、满足工艺制程要求的供应，是产线良率保障的关键系统之一。同时，满足工艺也兼顾环保达标排放。
