系统集成 SYSTEM INTEGRATION
超高纯系统解决方案供应商
UHP Solution Provider
栎智科技为半导体、微电子等泛半导体行业工艺制程机台的制程废气及气体供应设备（GC/VMB等）的置换废气进行无害化处理，处理的气体种类包括SiH4、NH3、HCL、PH3、B2H6、H2、NF3、CHF3等有毒有害气体。
常用废气处理形式如下：
-干式/吸附式
-加热水洗式
-燃烧式
-水洗式
-等离子水洗式
