系统集成 SYSTEM INTEGRATION

超高纯系统解决方案供应商

UHP Solution Provider

栎智科技WISDOM
  • 首页
  • 关于栎智
  • 产品中心
    • 气体供应设备
    • 化学品供应设备
  • 系统集成
    • 特种气体输送系统
    • 化学品输送系统
    • 工艺尾气及废气处理系统
    • 工艺及厂务二次配系统
    • GDS/GMS侦测控制管理系统
  • 专业服务
    • 高纯系统测试服务
    • 气化系统维护保养服务
    • 气体系统驻厂服务(TGM)
    • 化学品系统驻厂服务(TCM)
  • 新闻资讯
  • 联系我们
工艺尾气及废气处理系统
化学品输送系统
特种气体输送系统

工艺尾气及废气处理系统

PROCESS TAIL GAS & EXHAUST GAS TREATMENT SYSTEM

工艺及厂务二次配工程:从主系统预留阀(Take off Valve)接至工艺机台(Tools)的工艺配管工程。


常规二次配系统包括:电、排风、工艺冷却水、真空管、泵管、纯水、化学品、排水、大宗气体、特殊气体。

GDS/GMS侦测控制管理系统
工艺及厂务二次配系统

©2018 上海栎智半导体科技股份有限公司版权所有 沪ICP备19041579号-1