超高纯系统解决方案供应商
UHP Solution Provider
产品中心 PRODUCT CENTRE
手动/半自动/全自动
随着半导体产业的蓬勃发展，气体供应设备越来越多的应用于IC芯片生产、镀层、实验室科研等项目中。
气体供应设备主要包括：
1. GC 特种气体气瓶柜
2. GR 惰性气体气瓶架
3. Local Scrubber 就地尾气处理器（根据特气种类配置不同形式）
4. VMB、VMP等各类气体分流设备
5. BSGS 大宗特种特气柜
6. Gas Mixer 混气设备
单瓶/双瓶/三瓶
GAS SUPPLY EQUIPMENT
