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电子级气体化学品输送系统
栎智科技在半导体产业的刻蚀、扩散、离子注入、薄膜沉积和黄光工艺等关键制程为客户提供完整的气体供应设备设计与制造的解决方案。
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电子先进材料生产成套装备
栎智科技为电子级特种气体、电子级化学品和前驱体材料生产企业提供高品质、高精度的产品生产配套设备。
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关键工艺定制化气控设备（GasBox）
栎智科技为客户提供工艺设备或子系统GasBox的委托加工（OEM)或委托设计加工(ODM)服务。可以设计制造的GasBox包括VCR@型及SurfaceMount型。
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