电子级气体化学品输送系统--上海栎智半导体科技股份有限公司[官网]

电子级气体化学品输送系统

栎智科技在半导体产业的刻蚀、扩散、离子注入、薄膜沉积和黄光工艺等关键制程为客户提供完整的气体供应设备设计与制造的解决方案。

电子级气体化学品输送系统

特液输送系统（LDS）

<p>将半导体制造过程中所需的前驱体材料稳定地输送至工艺设备。</p>

0.00

市场价: 0.00

了解详情
电子级气体化学品输送系统

化学品集中供液设备（CDM）

<p>实现对多台工艺设备的大流量化学品供给。</p>

0.00

市场价: 0.00

了解详情
电子级气体化学品输送系统

化学品分流设备（VMB/VMP）

<p>将气体、化学品从单一来源分配到多点应用，并对各支路进行独立调压。</p>

0.00

市场价: 0.00

了解详情
电子级气体化学品输送系统

特种气体瓶柜/气瓶架（GC/GR）

<p>对特种气体的密闭式安全储存以及不间断输送。</p>

0.00

市场价: 0.00

了解详情

©Copyright 2025 All Rights Reserved | 上海栎智半导体科技股份有限公司 | 上海市松江区香闵路601号19号楼 | 沪ICP备19041579号

核心业务

电子级气体化学品输送系统

电子先进材料生产成套装备

关键工艺定制化气控设备（GasBox）

关注我们

栎智科技

栎智科技知乎

栎智科技抖音

售后服务：021-5458 0589